中圖儀器SuperViewW白光干涉輪廓形貌粗糙度測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量,。它具有測(cè)量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

SuperViewW白光干涉輪廓形貌粗糙度測(cè)量?jī)x可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,，測(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)樣件測(cè)量能力：?jiǎn)我粧呙枘Ｊ郊纯蓾M足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測(cè)量（見附錄一）；

2)單區(qū)域自動(dòng)測(cè)量：?jiǎn)纹矫鏄悠坊蚺繕悠非袚Q測(cè)量點(diǎn)位時(shí),，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索,、掃描等功能；

3)多區(qū)域自動(dòng)測(cè)量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測(cè)量點(diǎn)位,，一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索,、掃描等功能；

4)自動(dòng)拼接測(cè)量,；支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測(cè)量功能,，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測(cè)量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測(cè)量,；

5)編程測(cè)量功能：支持測(cè)量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結(jié)合自動(dòng)單測(cè)量功能,，實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對(duì)同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出：支持word,、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，支持圖像,、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

12)環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能,，定量檢測(cè)出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲,，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的高精度；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能,，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長(zhǎng)光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù),，軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報(bào)警聲,；設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。

白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙,。

一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作，無須切換,，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；

2）可視化窗口,，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,；

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

應(yīng)用領(lǐng)域案例